MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...

直線過濾器采用316L不銹鋼材質，線型結構緊湊，用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體，以保護下游流體設備。最高工作壓力可達207bar；最高工作溫度204℃；多種過濾精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。廣泛應用于實驗室、...

RF系列多孔金屬限流器、通過與不同規(guī)格的氣阻配件結合、安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動負擔、避...

SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊...

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003um。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、E...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

HF系列高壓氣體專用過濾器，用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合，兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...

VCR（Vacuum Coupling Retainer）過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。

BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求，整體金屬構造、是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經(jīng)高溫燒結制成，具有良好的機械性和剛性，耐高溫、耐腐蝕、透氣，易于清潔的特點；濾芯式的設計可更換濾芯,可以重復使用，使用壽命長；可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質，改善下游干燥機的功能，延長精密...